潔凈級別 |
塵粒最大允許數(shù) |
微生物最大允許數(shù) |
ISO級數(shù) |
||
≥0.5μm |
≥5μm |
浮游菌/m³ |
塵降菌/皿 |
||
100級 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5級 |
100級 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5級 |
100級 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5級 |
100級 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5級 |
潔凈等級 |
百級 | 千級 | 十萬級 | 三十萬級 |
≥0.5μm(個/m³) | ≤3500 | ≤35000 | ≤350000 | ≤1050000 |
≥0.5μm(個/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
≥0.5μm(個/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
≥0.5μm(個/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
靜壓差 | 相鄰不同級別空間的靜壓差絕對值應(yīng)>5pa;潔凈室與室外的靜電差>10pa | |||
照度 | 一般宜為300LX,若工藝上有特殊要求則照工藝要求 | |||
噪音 | ≤65db(A) | |||
溫度 | 一般為18℃~26℃ | |||
相對濕度 | 一般為45%~65% | |||
換氣次數(shù) | ≥100(次/h) | ≥50(次/h) | ≥20(次/h) | ≥10(次/h) |
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