潔凈室簡(jiǎn)介:
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無(wú)塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
控管項(xiàng)目
1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3、溫度和濕度之控制。
4、壓力之調(diào)節(jié)。
5、有害氣體之排除。
6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7、靜電之防制。
8、電磁干擾預(yù)防。
9、安全因素之考慮。
10、節(jié)能之考量。
優(yōu)勢(shì):
電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。
潔凈室重要性:
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。 潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣,其塵埃的收集率達(dá)99.97——99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,即無(wú)法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料:
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
電子無(wú)塵車間凈化參數(shù):
換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000級(jí)≥30次;
壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃
濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電;
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
設(shè)計(jì)方案:
凈化工程設(shè)計(jì)方案分析對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì),應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案,以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn),對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對(duì)于要求不高的,又要初投資低的,可以選用柜機(jī)+FFU??傊?,具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。
無(wú)菌操作室注意事項(xiàng):
1.安全注意事項(xiàng) 嚴(yán)格無(wú)菌操作,防止微生物污染;操作人員進(jìn)入無(wú)菌室應(yīng)先關(guān)掉紫外燈。
2.無(wú)菌室應(yīng)設(shè)有無(wú)菌操作間和緩沖間,無(wú)菌操作間潔凈度應(yīng)達(dá)到10000級(jí),室內(nèi)溫度保持在20-24℃,濕度保持在45-60%。超凈臺(tái)潔凈度應(yīng)達(dá)到100級(jí)。
3.無(wú)菌室應(yīng)保持清潔,嚴(yán)禁堆放雜物,以防污染。嚴(yán)防一切滅菌器材和培養(yǎng)基污染,已污染者應(yīng)停止使用
4.無(wú)菌室應(yīng)定期用適宜的消毒液滅菌清潔,以保證無(wú)菌室的潔凈度符合要求。
5.需要帶入無(wú)菌室使用的儀器,器械,平皿等一切物品,均應(yīng)包扎嚴(yán)密,并應(yīng)經(jīng)過適宜的方法滅菌。
6.工作人員進(jìn)入無(wú)菌室前,必須用肥皂或消毒液洗手消毒,然后在緩沖間更換專用工作服,鞋,帽子,口罩和手套(或用70%的乙醇再次擦拭雙手),方可進(jìn)入無(wú)菌室進(jìn)行操作。
7.無(wú)菌室使用前必須打開無(wú)菌室的紫外燈輻照滅菌30分鐘以上,并且同時(shí)打開超凈臺(tái)進(jìn)行吹風(fēng)。操作完畢,應(yīng)及時(shí)清理無(wú)菌室,再用紫外燈輻照滅菌20分鐘。
8.供試品在檢查前,應(yīng)保持外包裝完整,不得開啟,以防污染。檢查前,用70%的酒精棉球消毒外表面。
9.凡帶有活菌的物品,必須經(jīng)消毒后,才能在水龍頭下沖洗,嚴(yán)禁污染下水道。
回風(fēng)口:又稱吸風(fēng)口、排風(fēng)口,是空調(diào)管道中間向室外輸送空氣的管口。
送風(fēng)口:是指空調(diào)管道中間向室內(nèi)輸送空氣的管口。
無(wú)菌傳遞倉(cāng):即傳遞窗,它作為潔凈室的一種輔助設(shè)備,主要用于潔凈區(qū)與潔凈區(qū)、非潔凈區(qū)與潔凈區(qū)之間的小件物品的傳遞,以減少潔凈室的開門次數(shù),最大限度的降低潔凈區(qū)的污染
局部潔凈房:即潔凈棚,它具備多種潔凈等級(jí)及空間搭配可以根據(jù)使用需求設(shè)計(jì)制作,因此其簡(jiǎn)便運(yùn)用彈性大安裝容易且施工期短以及可移性為其主要特點(diǎn)。
風(fēng)淋消毒區(qū):即風(fēng)淋室,它是人員或貨位進(jìn)入潔凈區(qū)由風(fēng)機(jī)通過風(fēng)淋噴嘴噴出經(jīng)過高效過濾的潔凈強(qiáng)風(fēng)吹除人或物體表面吸附塵埃的一種通用性很強(qiáng)的局部?jī)艋O(shè)備。
環(huán)氧樹脂防靜電地面:即環(huán)氧樹脂地坪漆,它具有耐強(qiáng)酸堿、耐磨、耐壓、耐沖擊、防霉、防水、防塵、止滑以及防靜電、電磁波等特性,顏色亮麗多樣,清潔容易。它采用一次性涂覆工藝,不管有多大的面積,都不存在連接縫,而且還是一種無(wú)灰塵材料,具有附著力強(qiáng),耐磨擦,硬度強(qiáng)等特點(diǎn)。
凈化工作臺(tái):即超凈工作臺(tái),為補(bǔ)充排氣口排出的空氣,同體積的空氣通過操作口從房間空氣中得到補(bǔ)充。這些空氣絕對(duì)不會(huì)進(jìn)入操作區(qū),只是形成一個(gè)空氣屏障。廣泛適用于醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制藥、食品、醫(yī)學(xué)科學(xué)實(shí)驗(yàn)、光學(xué)、電子、無(wú)菌室實(shí)驗(yàn)、無(wú)菌微生物檢驗(yàn)、植物組培接種等需要局部潔凈無(wú)菌工作環(huán)境的科研和生產(chǎn)部門。